гетероэпитаксия
1. вид эпитаксии, когда растущий слой отличается по химическому составу от вещества подложки
Источник: Wiktionary.org
1. вид эпитаксии, когда растущий слой отличается по химическому составу от вещества подложки
Источник: Wiktionary.org