ВНУТРИАТО'МНЫЙ, ая, ое (науч.). Совершающийся внутри атомов. В. процесс.
Источник: «Толковый словарь русского языка» под редакцией Д. Н. Ушакова (1935-1940);
внутриатомный
1. относящийся к происходящему внутри атома, имеющий размеры меньше атома
Источник: Wiktionary.org